greenspecbusiness

검사 자동화

High Speed Laser Autofocus System

LAF1-GS

LAF1-GS는 고속으로 초점(focal point)의위치를 추적하는 장치 입니다.비젼 산업계에서 사용되고 있는 무한 광학계 현미경(Infinity Corrected Optical Microscope)에 동축(Through The Lens) 형태로 삽입하여 사용할 수 있어,현미경과 자동 초점 장치의 View point가 일치 합니다.

Laser를 현미경을 통하여 시료에 투사하여반사되어 돌아오는 빛의 위치를 CMOS 센서로 입력 받아초점의 위치를 실시간으로 계산합니다.

CMOS 센서는 자동초점 장치 Head 내부에 Pre-processor와같이 장착 되어 있으며, 일반 카메라와 같이 Aerial Image와Binning image를 사용할 수 있어, 다양한 방식으로 초점을찾을 수 있으며 또한 고속모드로도 사용이 가능합니다.

Features
ㆍIt is working on almost types of surfaces

-Reflective and diffusing

-Low reflectivity surfaces

-Transparent and opaque

-Plain, patterned and textured

ㆍIt is working on almost types of surfaces
ㆍAvailable with objective lens from 5X to 100X
ㆍProgrammable parameter for different working conditions
ㆍHigh Resolution CMOS sensor inside
Laser Repair
ㆍFlat Panel Display
ㆍPatterned Wafer Inspection
ㆍWafer Processing
ㆍPhoto-Mask Inspection and Repair
ㆍLaser Micro-Machining
Controller [LAFC1-GS-C]
ㆍSampling frequency :

- Max. 1[KHz] (250Hz Normally)

ㆍCommunication to User PC:

- Giga Ethernet

ㆍDSP : 2 Cores, 1[GHz]
ㆍDIO : input x 8CH, output x8CH
Head [LAF1-GS-H]
ㆍLaser Diodes : l = 680[nm](Default)
ㆍCMOS sensor
Software
ㆍUser Interface
ㆍAPI

ㆍLAF1-GS는 controller와 Optical Head로 구성 되어 있습니다.

ㆍ현미경과 조명계는 사용자의 것을 그대로 사용할 수 있습니다.

ㆍStep motor와 Power Driver는 제공되지 않습니다.

• Specification
Microscope Lens VIS VIS VIS NIR NIR
Magnification 2.5X 5X 10X 20X 50X
Focus Resolution [㎛] ′ <50 <10 <2 <1.5 <0.4
Focus Ranfe[㎛] ±2000 ±1000 ±300 ±300 ±100